Ìtọ́sọ́nà fún Cleanroom Mop fún Àwọn Ohun Èlò Oògùn àti Semiconductor

Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tí a ṣàkóso, mop kì í ṣe ọjà—ó jẹ́ ẹ̀yà ìdarí ìbàjẹ́ tí ó lè ní ipa lórí ìdánilójú àìlèjẹ́, ìyọrísí wafer, àti ìmúrasílẹ̀ ìlànà. Àwọn ẹgbẹ́ oníṣòwò oògùn gbọ́dọ̀ ṣàkóso ẹrù bio, ìbáramu ìpalára ìpalára, àti àwọn ìfojúsùn Annex 1, nígbà tí àwọn ohun èlò semiconductor gbọ́dọ̀ ṣọ́ra fún àwọn èròjà, àwọn ions, àwọn ìyókù, àti àwọn ipa electrostatic ní àwọn ìwọ̀n microscopic. Ìtọ́sọ́nà yìí ṣàlàyé bí a ṣe lè ṣe àyẹ̀wò ìwẹ̀nùmọ́ yàrá mímọ́ Àwọn ohun èlò, ìkọ́lé, ipò ìfọ̀mọ́, ìdìpọ̀, àti ìbáramu fún àwọn agbègbè tí a pín sí ISO. Ó tún tẹnu mọ́ ìdí tí iṣẹ́ ìfọṣọ tí kò ní ìwúwo, àwọn etí tí a ti di, ìfọṣọ tí a fọwọ́ sí, àti ìbáramu kẹ́míkà ṣe pàtàkì nígbà tí iye owó ìṣẹ̀lẹ̀ ìbàjẹ́ bá lè yára ju iye owó ètò ìfọṣọ fúnra rẹ̀ lọ.

Pàtàkì Ìlànà ti Yíyan Cleanroom Mop

Àwọn olùṣàkóso ilé iṣẹ́ àti àwọn ògbógi ìdánilójú dídára ní iṣẹ́ ìṣètò oògùn àti semiconductor dojúkọ àwọn ìbéèrè ìlànà líle láti ṣàkóso ìbàjẹ́ èròjà àti àwọn kòkòrò àrùn. Àwọn ọgbọ́n ìṣàkóso ìbàjẹ́ òde òní, tí a ń darí nípasẹ̀ àwọn ìlànà bíi EMA Annex 1 tí a túnṣe àti àwọn ìlànà cGMP FDA, nílò àbójútó àyíká àti ìmọ́tótó ojú ilẹ̀ tí a ṣe dáradára. Àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ ojú ilẹ̀ ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ààbò àkọ́kọ́ lòdì sí ìkójọ èròjà tí ń ba èso jẹ́ àti ìbísí ẹrù ẹ̀dá. Kókó pàtàkì nínú àwọn ìlànà wọ̀nyí ni yíyan àwọn ohun èlò ìfọmọ́ pàtàkì a ṣe apẹrẹ pataki fun awọn agbegbe iṣakoso.

Fifi sori ẹrọ ohun ti ko yẹ Mọ́pù yàrá mímọ́ le fa awọn iṣẹlẹ ibajẹ nla, ti o yori si awọn ikọsilẹ ẹgbẹ tabi awọn abawọn wafer ti o maa n na awọn ile-iṣẹ ẹgbẹẹgbẹrun dọla fun wakati kan ni idaduro iṣelọpọ. Nitori naa, awọn oniṣẹ ile-iṣẹ gbọdọ ṣe ayẹwo àwọn ètò ìmọ́pọ́ kìí ṣe gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìtọ́jú ilé gbogbogbò nìkan, ṣùgbọ́n gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò pàtàkì tí a ń lò lábẹ́ àwọn ìlànà ti ara àti kẹ́míkà tí ó le koko.

Ṣíṣàlàyé Àwọn Mops Cleanroom fún Àwọn Agbègbè ISO

Ṣíṣàlàyé àwọn irinṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ fún àwọn àyíká tí a ti pín sí ISO nílò ìtẹ̀lé àwọn ìlànà ara tí ó le koko. Mop ilé-iṣẹ́ ìpele kan máa ń tú ẹgbẹẹgbẹ̀rún okùn jáde fún mítà onígun mẹ́rin, nígbà tí a ti fọwọ́ sí i. Mọ́pù Ìwẹ̀nùmọ́ Yàrá Ìmọ́tótó A ṣe apẹrẹ fun awọn agbegbe ISO Class 3 si 5 lati yọ awọn iye patiku kekere kuro ni ibamu pẹlu awọn iṣedede ti a tẹjade gẹgẹbi IEST-RP-CC004. Awọn opin ti o muna wọnyi ni a ṣe nipasẹ awọn imuposi iṣelọpọ pataki, gẹgẹbi fifẹ ultrasonic tabi lesa ti awọn eti aṣọ lati dena fifọ okun. O yẹ ki o ṣe akiyesi pe ni awọn agbegbe pataki Ipele A/B ati ISO Class 3-5, awọn ile-iṣẹ nigbagbogbo gbekele awọn asọ mimọ pataki tabi awọn eto mimọ adaṣe fun awọn dada iṣẹ akọkọ, lilo awọn mops nipataki fun awọn ilẹ ati awọn agbegbe eto gbooro lati dena ipa mop ti o pọ ju ni awọn agbegbe ti o ga julọ.

Síwájú sí i, a sábà máa ń fọ àwọn ohun èlò ìwẹ̀mọ́ gidi nínú àwọn ètò omi mímọ́ ultra-pure, a sì máa ń fi wọ́n sínú àpò méjì lábẹ́ òfúrufú nínú àyíká ISO Class 4. Ìṣiṣẹ́ líle yìí fi ìdí ìpìlẹ̀ ìṣẹ̀dá àwọn èròjà díẹ̀ sílẹ̀ kí ẹ̀rọ náà tó ba àyíká afẹ́fẹ́ tí olùlò ń ṣàkóso jẹ́.

Àwọn Ewu Ẹ̀gbin Tí Ó Sopọ̀ Mọ́ Àṣàyàn Mop

Nínú iṣẹ́ oògùn, ewu àkọ́kọ́ tó níí ṣe pẹ̀lú àṣàyàn mop tí kò dára jẹ́ ìbàjẹ́ àwọn kòkòrò àrùn. Àwọn ìlànà ìlànà pàṣẹ fún ìṣàkóso ẹrù ìnira tó lágbára, èyí tó ń béèrè pé kí iye àwọn kòkòrò àrùn tó wà lórí ilẹ̀ wà ní ìsàlẹ̀ ààlà pàtó fún ibi ìtọ́jú náà. Lílo mop tí kò ní agbára ìdènà kẹ́míkà tó dára lè yọrí sí ìdènà àwọn ohun tó ń pa àrùn, èyí sì ń jẹ́ kí àwọn kòkòrò àrùn lè yege nínú iṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́.

Ni idakeji, awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ semiconductor ṣe pataki fun iṣakoso micro-contamination, nibiti awọn ions irin ti o wa lati inu awọn ohun elo mop le fa awọn iyipo kukuru ti o lewu ni awọn apẹẹrẹ iwọn nanometer. Ni awọn agbegbe wọnyi, awọn ohun elo ti a yọ kuro ninu ion nigbagbogbo gbọdọ wa ni iṣakoso si awọn iwọn alapin ti o muna ti a ṣalaye nipasẹ awọn ibeere ile-iṣẹ. Lilo awọn ohun elo ti ko ni ibamu le fa awọn substrates silicon ti o ni itara si awọn fallout ti awọn nkan, gbigba agbara triboelectric, tabi awọn iyokù kemikali ti o ba awọn ilana fọtolithography tabi awọn ilana fifin jẹjẹ.

Àwọn Àlàyé Pàtàkì fún Ìmọ́tótó Yàrá Kíkọ́ láti Fiwéra

Ṣíṣàyẹ̀wò àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ nílò àfiwé ìlànà ti àwọn ohun èlò, ipele ìwẹ̀nùmọ́, àti àwòrán ergonomic. Ìṣètò ara ti mop náà tààrà ń pinnu bí omi ṣe ń gbà á, ìbáramu kẹ́míkà, àti ìṣàn àwọn èròjà, nígbàtí àwọn ohun tí a ń ronú nípa ergonomic ní ipa pàtàkì lórí àárẹ̀ olùṣiṣẹ́ àti ìfaramọ́ àwọn ìṣísẹ̀ ìwẹ̀nùmọ́ tí a ṣe déédéé (bíi àwọn ìlọ́po-ìtọ́sọ́nà tàbí àwọn ìlọ́po-ìtọ́sọ́nà S).

Àwọn àṣàyàn ìwẹ̀nùmọ́ tí a lè fọ̀, tí a lè fọ̀, tí a sì lè fọ̀.

Àwọn ilé iṣẹ́ gbọ́dọ̀ ṣe àyẹ̀wò pàṣípààrọ̀ iṣẹ́ láàárín àwọn ohun èlò tí a fi omi pamọ́ àti èyí tí kò ní omi pamọ́, àti àwọn ohun èlò tí a lè jù sílẹ̀ àti èyí tí a lè tún lò. Fún àwọn agbègbè oògùn tí a fi omi pamọ́, àwọn mọ́pù aláìmọ́ jẹ́ dandan, wọ́n sábà máa ń lo ìtànṣán gamma ní ìwọ̀n tí a ṣe àtúnṣe rẹ̀ dáadáa láàrín 25 àti 40 kGy láti dé ìpele ìdánilójú àìlera (SAL) ti 10^-6.

Àwọn ètò ìfọmọ́lẹ̀ tí a lè sọ nù yóò mú ewu ìbàjẹ́ àgbélébùú kúrò pátápátá àti ìnáwó ìṣàkóṣo ti ìfọwọ́ṣọ. Nítorí náà, wọ́n sábà máa ń jẹ́ àṣàyàn tí a fẹ́ràn jùlọ ní àwọn agbègbè ìpele gíga níbi tí iye owó ìrìnàjò ìbàjẹ́ ti pọ̀ ju iye owó tí a ń ná fún àwọn ohun èlò ìlò kan lọ. Síbẹ̀síbẹ̀, ìṣàyẹ̀wò iye owó tí a lè sọ nù-àti-tún-lò yìí gbọ́dọ̀ wà ní ìwọ̀ntúnwọ̀nsì lòdì sí ìdúróṣinṣin àyíká. Sísọ àwọn ike àti aṣọ ìṣẹ̀dá tí a lè lò lẹ́ẹ̀kan náà nù nígbà gbogbo ń mú ìpèníjà tí ń pọ̀ sí i wá fún àwọn àṣẹ Ayika, Àwùjọ, àti Ìjọba (ESG) ti ilé-iṣẹ́, èyí tí ó dúró fún ìkìlọ̀ iṣẹ́ gidi kan. Nígbà tí a bá yàn fún àwọn mọ́pù aláfọwọ́ṣe tí a lè tún lò, awọn ile-iṣẹ gbọdọ ṣe awọn ilana fifọ aṣọ ti a fọwọsi (fun apẹẹrẹ, gẹgẹbi awọn itọsọna IEST-RP-CC005.3). Awọn iyipo isọdi-ara ti a tun ṣe leralera nfa ibajẹ okun ti nlọsiwaju, eyiti o mu ki isunku awọn nkan pọ si taara ati dinku gbigba agbara lori akoko.

Àwọn Ohun Èlò, Àwọn Àwòrán Orí, àti Àwọn Àmì Ìmúlò

Ohun elo substrate ti Orí Mop Ó ń ṣàkóso ìbáṣepọ̀ rẹ̀ pẹ̀lú àwọn ohun ìdọ̀tí ojú ilẹ̀ àti àwọn ohun èlò ìpalára omi. Polyester oní-okùn oní-tẹ̀síwájú àti àwọn àdàpọ̀ microfiber tó ti ní ìlọsíwájú, tí wọ́n sábà máa ń lo ìpíndọ́gba 80/20 ti polyester sí naylon, ni àwọn ìlànà ilé iṣẹ́ náà. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ń fúnni ní agbára ìṣiṣẹ́ capillary tó ga jùlọ, èyí tó ń jẹ́ kíori mop boṣewa láti pa ìwọ̀n omi tó dára jùlọ mọ́ fún lílo lẹ́ẹ̀kan náà láìsí omi tó ń rọ̀ jù.

Yàtọ̀ sí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀, ìrísí orí ni ó ń pinnu bí a ṣe lè lò ó. Àwọn mop onígun mẹ́rin tí ó tẹ́jú ni ìlànà ilé-iṣẹ́ fún ìbòrí kan náà lórí ilẹ̀ àti ògiri. Nígbà tí àwọn ìlànà àtijọ́ máa ń lo okùn tàbí okùn nígbà míìrán. Mọ́pù LípùFún àwọn ojú ilẹ̀ tí kò báradé, wọ́n sábà máa ń yẹra fún àwọn wọ̀nyí ní àwọn àyíká tí a ti pín sí ISO nítorí wọ́n ń kó àwọn ohun ìdọ̀tí mọ́, wọ́n sì ṣòro láti fọ àti láti fi ìdí múlẹ̀. Àwọn férémù oní-àpò máa ń fúnni ní ìsopọ̀mọ́ra tó dájú nígbà tí a bá ń fọ ara wa dáadáa, nígbà tí a fẹ́ràn àwọn orí oní-àpótí fọ́ọ̀mù fún ìdúró omi wọn tó yàtọ̀.

Nigbati o ba yan onimọ-pataki kan Mọ́pù ilẹ̀ ilé mímọ́Àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ náà ṣe pàtàkì fún orí tí a lè lò. Ohun èlò náà gbọ́dọ̀ fara da àwọn ohun èlò ìpalára líle àti ìpara tí a lè lò lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan. A ṣeduro pé kí a lo aluminiomu tí a ti fi iná mànàmáná ṣe àti àwọn ọwọ́ irin alagbara 316L tí a ti fi iná mànàmáná ṣe—àti pé àwọn SOP inú rẹ̀ sábà máa ń nílò rẹ̀—nítorí wọ́n ń tako ìbàjẹ́ àti pé wọ́n ń dènà ìtújáde àwọn ìfọ́ irin tí ó sábà máa ń wáyé pẹ̀lú ohun èlò ìṣiṣẹ́ kékeré. Ìbámu pẹ̀lú àwọn páákì àti àwọn ohun èlò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ yàrá mímọ́ tún ṣe pàtàkì láti rí i dájú pé a ń ṣàkóso omi dáadáa.

Ìjẹ́rìísí, Ìpèsè, àti Ìmúṣe

Ìyípadà láti ìpele pàtó sí ìṣọ̀kan àwọn ilé iṣẹ́ tó ń ṣiṣẹ́ ní í ṣe pẹ̀lú àwọn ìlànà ìpele tó lágbára àti ìṣàkóso ẹ̀rọ ìpèsè onímọ̀ọ́rọ̀. Ìpele ìfilọ́lẹ̀ gbọ́dọ̀ bá àwọn ìlànà ìṣiṣẹ́ tó wà ní ìpele pàtó (SOPs) mu láti rí i dájú pé ìmọ́tótó báramu àti pé ó bá ìlànà mu.

Àwọn Ìgbésẹ̀ Tó Wúlò fún Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ Cleanroom Mop

Àwọn ìlànà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ fún àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ sábà máa ń

Àwọn Ohun Tí A Yàn Pàtàkì

• Yan àwọn mọ́pù yàrá ìwẹ̀nùmọ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò tí ó ṣe pàtàkì fún iṣẹ́, kìí ṣe àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ gbogbogbòò, nítorí pé yíyàn mọ́pù tí kò dára lè fa ìkọ̀sílẹ̀ nínú àwọn ohun èlò, àbùkù wàfáà, àti àkókò ìsinmi tí ó náni lówó.
• Fún àyíká ISO Class 3–5, ṣe àfiyèsí àwọn ohun èlò mop tí ó ní ìlẹ̀kùn kékeré pẹ̀lú àwọn etí tí a ti di àti iṣẹ́ ìṣàkóso patiku tí a ti kọ sílẹ̀.
• Àwọn ilé ìtọ́jú oògùn gbọ́dọ̀ rí i dájú pé mop bá àwọn ohun èlò ìpalára àti àwọn ohun èlò ìpalára mu láti yẹra fún yíyọ kemikali ìwẹ̀nùmọ́ kúrò.
• Àwọn ohun èlò Semiconductor yẹ kí wọ́n ṣe àyẹ̀wò àwọn ohun èlò mop fún àwọn ohun èlò tí a lè yọ ion kúrò, ewu irin tí a lè fi tàn kálẹ̀, àwọn ohun tí a lè ṣẹ́kù, àti ìwà electrostatic.
• Lo awọn eto fifọ ti a fọ ​​ni yara mimọ ati ti a fi apo meji kun nibiti awọn ibeere iṣakoso idoti nilo awọn ipele patiku ipilẹ kekere pupọ.
• Ṣe àgbékalẹ̀ mop pẹ̀lú ojú ilẹ̀ àti agbègbè: àwọn ojú iṣẹ́ pàtàkì lè nílò àwọn asọ tàbí ẹ̀rọ aládàáṣe, nígbà tí mop jẹ́ èyí tó dára jùlọ fún ilẹ̀ àti àwọn agbègbè ìṣètò tó tóbi jù.

Àwọn Ìbéèrè Tí A Máa Ń Béèrè

Kí ló dé tí àwọn mop ilé iṣẹ́ tí a mọ̀ kò fi yẹ fún àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́?

Àwọn mops tó wọ́pọ̀ lè kó àwọn okùn, àwọn patikulu, àti àwọn èérún tí ó lè ba àyíká ISO jẹ́. A ṣe àwọn mops yàrá mímọ́ fún ìṣẹ̀dá patikulu díẹ̀, a sábà máa ń lo àwọn etí tí a ti di àti ìfọṣọ tí a ṣàkóso láti dín ewu ìbàjẹ́ kù.

Àwọn ìlànà wo ló ṣe pàtàkì nígbà tí a bá ń yan mọ́pì yàrá ìwẹ̀nùmọ́?

Àwọn ilé iṣẹ́ sábà máa ń ṣe àyẹ̀wò àwọn mops lòdì sí àwọn ohun tí a nílò nínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO, ìtọ́sọ́nà IEST-RP-CC004, àwọn ìfojúsùn EMA Annex 1, àti àwọn ìlànà ìṣàkóso ìbàjẹ́ FDA cGMP, ní ìbámu pẹ̀lú ohun tí a lò àti àyíká ìlànà.

Ṣé a ń lo àwọn mọ́pì yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ní agbègbè ìpele A tàbí ISO Class 3?

Ní àwọn agbègbè pàtàkì jùlọ, a sábà máa ń lo àwọn mop fún ilẹ̀ àti àwọn ojú ilẹ̀ tó tóbi jù. Àwọn ojú ilẹ̀ iṣẹ́ àkọ́kọ́ sábà máa ń gbára lé àwọn aṣọ ìnu tàbí àwọn ẹ̀rọ aládàáṣe láti dín ewu ìbàjẹ́ tààrà kù.

Àwọn ohun èlò ìmọ́pọ́n wo ló ń dín ìtújáde àwọn èròjà kù?

Aṣọ tí kò ní ìfọ́n, àwọn etí tí a fi ẹ̀rọ ultrasonic tàbí laser ṣe, fífọ yàrá mímọ́ pẹ̀lú omi mímọ́, àti àpò tí a fi àpò méjì ṣe ń dín ìtújáde okùn àti ìbàjẹ́ pàtákì kù kí a tó lò ó.

Báwo ni àwọn ìbéèrè mop oníṣẹ́ òògùn àti semiconductor ṣe yàtọ̀ síra?

Àwọn ilé iṣẹ́ ìṣègùn máa ń ṣe àfiyèsí ìbáramu àwọn ohun tí a fi ń pa kòkòrò àti àwọn ohun tí a fi ń pa kẹ́míkà run, nígbà tí àwọn ohun èlò ìwádìí semiconductor ń ṣe àfiyèsí gidigidi lórí ìṣàkóso àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́, àwọn ohun èlò ìyọkúrò ion, àwọn irin tí a fi ń ṣe àmì, àwọn ohun tí a fi ń pa mọ́, àti àwọn ewu electrostatic.